氮?dú)獍l(fā)生器根據(jù)原理可分為有電化學(xué)、變壓吸附和膜分離三種，其中變壓吸附原理可以達(dá)到（可以達(dá)到而非一定是）99.995%以上的純度。

　　布魯克EVOQ-TQ液質(zhì)聯(lián)用儀氮?dú)獍l(fā)生器就是采用的膜分離技術(shù)依靠不同氣體在膜中溶解和擴(kuò)散系數(shù)的差異而具有不同的滲透速度來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體的分離。當(dāng)混合氣體在驅(qū)動(dòng)力一膜兩側(cè)壓力差作用下，滲透速度相當(dāng)快的氣體如氧氣、氫氣、氦氣、硫化氫、二氧化碳等透過(guò)膜后，在膜的滲透?jìng)?cè)被富集，而滲透速度相當(dāng)慢的氣體如氮?dú)?、氬氣、甲烷和一氧化碳等唄滯留在膜的滯留側(cè)被富集從而達(dá)到混合氣體分離的目的。膜分離制氮機(jī)就是根據(jù)以上原理。以壓縮空氣為原料氣來(lái)提取較高純度的氮?dú)狻?/div>